电化学法主要是被测臭氧气体以扩散方式和仪器接触，并发生反应，输出稳定的电信号。气体浓度值可以稳定地用数据显示在显示屏上。紫外吸收法的原理为臭氧对波长 λ=254nm紫外光具有zui大吸收稀疏，在此波长下紫外光通过臭氧层会产生衰减，符合兰波特-比尔定律。目前，紫外吸收法已被美国等国家作为臭氧分析的标准方法。其采用紫外线吸收法具有检测精度高、稳定性好，其他氧化剂干扰小等优点。缺点是价格较高。

　　光谱分析法是指在光的作用下，通过测量物质产生的发射光、吸收光或散射光的波长和强度来进行分析的方法。在光谱分析中，依据物质对光的选择性吸收而建立起来的分析方法称为吸光光度法。

　　科学家们已经发现臭氧层能吸收紫外线，研究表明臭氧仅对波长253.7nm的紫外线具有zui大吸收系数，在此波长下紫外线通过臭氧会产生衰减，符合兰波特一比尔定律:该原理已被美国等国家作为臭氧标准分析方法:该臭氧检测仪就是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。